Komponenten der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik / Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik, IWM

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cbs.date.changed2021-07-07
cbs.date.creation2015-08-07
cbs.picatypeOa
cbs.publication.displayformHalle (Saale), 2013
dc.contributor.contributorFraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM
dc.date.accessioned2025-05-28T19:49:01Z
dc.date.issued2013
dc.format.extentOnline-Ressource (PDF-Datei: [2] S., 3,55 MB) : Ill.
dc.genrebook
dc.identifier.ppn832917281
dc.identifier.urihttps://epflicht.bibliothek.uni-halle.de/handle/123456789/2262
dc.identifier.urnurn:nbn:de:gbv:3:2-45947
dc.identifier.vl-id2307252
dc.language.isoger
dc.rights.urihttp://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/
dc.subject.ddc620
dc.titleKomponenten der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik / Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik, IWM
dc.typeBook
dspace.entity.typeMonograph
local.accessrights.itemAnonymous
local.openaccesstrue

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Beschreibung:
Komponenten der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
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